作者：叶超,陈贤祥,彭春荣,陶虎,夏善红 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2006年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2006090310 DOC编号：DOCBDTX2006090319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计并制备出两种新型电热驱动微型静电场传感器.一种利用了V型梁阵列作为驱动结构，另一种引入了位移放大机构.针对传感器的弱电流输出信号，建立了基于锁相放大器的测试系统对两种传感器的输出信号进行检测.测试结果表明，两种传感器都具有线性的输出特性，且带有位移放大机构的电场传感器具有更高的灵敏度。

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