作者：石志松,朱惠忠,王文炎 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2006年第S2期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2006S22540 DOC编号：DOCYQXB2006S22549 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计并制作了一种单片集成的阵列式QCM(石英晶体微天平)传感器，介绍了设计思想和方法，用网络分析仪对实验器件进行了分析。阵列传感器设计成分时扫描激励的工作模式，通过选通电路对阵列各单元进行扫描激励，实现各单元的依次工作。避免了各谐振器单元之间可能的振动耦合，从而可以在单个石英晶片上集成尽可能多的器件。该阵列式QCM传感器加工工艺简单，频率一致性好，平均频率稳定度达到&#177；0．2ppm／h。

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