作者:李松,Martin Jaegle,Harald Boettner 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2006年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2006010130 DOC编号:DOCCGJS2006010139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 由电池驱动以微机械技术制造的气体传感器的功耗是十分关键的实际问题。为了研制低功耗气体传感器,在传感器阵列上表面制备完成后,从下表面腐蚀传感器芯片的基底,以造成传感器芯片和封装室之间形成一个空气夹层。从而对有空气夹层的传感器芯片和没有空气夹层的传感器芯片的能耗做比较。实验结果显示,腐蚀过的传感器芯片具有较低的功耗。

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