作者:李冬梅,黄元庆,张佳平,张鑫,辜克兢 单位:北京信息科技大学 出版:《传感器世界》2006年第01期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGSJ2006010010 DOC编号:DOCCGSJ2006010019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 气体传感器日渐发展,其应用的范围越来越广,特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理,并对常见几种有毒性气体(一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物)和可燃性气体(氢气、甲烷)的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍,同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望。

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