作者：张凤田,唐祯安 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2006年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2006010080 DOC编号：DOCJCDI2006010089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微传感器与电路集成技术是实现片上测试系统的关键技术之一。随着片上系统(SOC，Sys-tem-on-a-chip)技术的发展，如何将微传感器与电路集成在同一芯片上成为SOC与传感器领域的一个重要方向。本文介绍了加热式气压微传感器的工作原理、处理电路及其集成工艺方案。

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