作者:陈洁,黄庆安,秦明 单位:东南大学 出版:《电子器件》2006年第04期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZQJ2006040980 DOC编号:DOCDZQJ2006040989 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《两种结构MEMS磁场传感器的研究》PDF+DOC2012年第12期 陈洁 《现代磁场传感技术最新进展》PDF+DOC2005年第03期 张奔牛,张开洪 《MEMS磁场传感器的设计及测试》PDF+DOC2011年第05期 陈洁,秦明,黄庆安 《宇航工业应用的压力传感器》PDF+DOC1983年第03期 刘光辉 《高过载低量程测试传感器的选择比较》PDF+DOC2003年第09期 翟成瑞,张文栋 《痕量爆炸物的化学、生物、MEMS传感器探测技术》PDF+DOC2003年第Z1期 张成梅,梅涛,孔德义,张彦 《悬臂梁光纤光栅磁场传感器(英文)》PDF+DOC2001年第01期 赵伟锋,盛秋琴,董孝义,黄培忠,刘志国,余有龙 《MEMS市场、技术与产品的动向》PDF+DOC2012年第12期 王莹 《SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析》PDF+DOC2010年第06期 许高斌,汪祖民,陈兴 《基于MEMS工艺的光强调制型光纤氢传感器》PDF+DOC2006年第05期 周业成,陈吉安,张晓晶,邱显涛
  • 磁场检测在工农业生产和人们日常生活中非常普遍。随着微电子机械(MEMS)的发展,用MEMS技术研制磁场传感器正获得越来越多的研究。基于MEMS磁场传感器的原理,对各类磁场传感器做了简要介绍,评述了各种MEMS磁场传感器的加工工艺及工作原理,并对MEMS磁场传感器的发展进行了展望。

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