作者：李其朋,丁凡 单位：中国机械工程学会;广州机械科学研究院 出版：《机床与液压》2006年第08期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCYY2006080630 DOC编号：DOCJCYY2006080639 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 常用的电涡流位移传感器线性范围小且不耐高压，因此不能应用于电液伺服阀的阀芯位置检测，而差动变压器式位移传感器的频响相对较低，本文提出一种高频响、耐高压电涡流位移传感器结构，理论仿真和实验结果表明：该位移传感器具有良好的线性度、重复性和较高的频响，适用于高性能电液伺服阀和比例阀的阀芯或短行程液压缸活塞的位置检测。

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