作者:许弟建,王定军,徐世六 单位:四川固体电路研究所 出版:《微电子学》2006年第06期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFMINI2006060090 DOC编号:DOCMINI2006060099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 设计了一个开环测试系统,利用锁相放大器能够对微弱信号进行有效检测的特点,采用交流激励、二倍频拾振的方法,实现了对热激励硅谐振梁压力传感器谐振输出的微弱信号的检测。该测试系统能够快速测得传感器的幅频特性曲线;通过处理,得到传感器的压力-频率特性。整个测试过程由程序控制实现。

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