作者：王明,陈四海,潘峰,汪殿明,黄光 单位：中国航天科工集团公司第三研究院第八三五八研究所 出版：《红外与激光工程》2006年第S1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWYJ2006S11080 DOC编号：DOCHWYJ2006S11089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微型柔性剪切应力传感器的制作研究》PDF+DOC2005年第08期 陈四海,汪殿民,朱福龙,徐涌,易新建 《柔性微热剪切应力传感器阵列》PDF+DOC2012年第06期 王文君,刘武,张卫平,陈文元,杨春生,崔峰,吴校生 《MEMS传感器测量平板表面摩擦应力高速风洞试验》PDF+DOC2013年第01期 梁锦敏,李建强,蒋卫民,李春彦,唐淋伟,田军 《基于聚酰亚胺基底的热剪切应力传感器设计》PDF+DOC2013年第08期 孙永明,刘武,张卫平,陈宏海 《电子鼻的研究和开发现状》PDF+DOC1999年第08期 徐毓龙,徐玉成 《红外传感器》PDF+DOC1984年第04期 文继秀 《复合量程MEMS加速度计抗高过载的优化设计》PDF+DOC2012年第05期 徐香菊,朱杰,郭涛,李文燕 《MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2010年第01期 杨川,郭灿 《一种基于MEMS传感器基准电流源设计》PDF+DOC 赵良,陈向东,苏长远,葛林 《基于EKF的多MEMS传感器姿态测量系统》PDF+DOC2006年第11期 付旭,周兆英,熊沈蜀,王劲东

    • 利用微机电系统(MEMS)技术，制作了一种128&#215；1元柔性红外传感器阵列.首先在硅片衬底上生长一层 PDMS 柔性材料，然后再在柔性材料上利用 MEMS 技术制作红外传感器阵列.采用六轴微小器件试验台进行扭弯试验.在传感器的两端施加一定的力使其弯曲，然后测传感器不同单元的电阻.试验结果表明：所制作的柔性传感器阵列能经受多次弯扭，电阻值基本没有变化，柔性传感器在经过弯扭3 300次后，传感器本身的柔性材料并没有断。

    📙 相关资料

    1. 《微型柔性剪切应力传感器的制作研究》PDF+DOC 利用微机电系统(MEMS)技术，制作了一种新型传感器阵列。首先，在刚性衬底上制作了一种8&#215；8切应力传感器阵列，然后，利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明：所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后，电阻值基本没有变化，柔性传感器在经过弯扭3300次后，传感器本身的柔性材料并......
    2. 《柔性微热剪切应力传感器阵列》PDF+DOC 设计了一种基于微机电系统的、制备在柔性聚酰亚胺衬底上的双热线结构微型热剪切应力传感器阵列，可用于复杂形状物体表面所受剪切应力的矢量化测量.基于传感器的原理，用Comsol软件对传感器进行了温度场和流场的仿真，说明了传感器制作工艺流程，用硅橡胶与聚酰亚胺在酒精中浸泡后易于剥离的特点实现柔性传感器脱膜.......
    3. 《MEMS传感器测量平板表面摩擦应力高速风洞试验》PDF+DOC 采用两种热敏MEMS传感器阵列和一种电容式MEMS传感器，在FL-21风洞中开展了平板模型表面摩擦应力分布测量试验研究。试验马赫数(Ma)为0.3～0.6，试验雷诺数(Re)为(0.63～1.23)&#215；107m-1，模型迎角为0&#176；。试验结果表明：平板模型边界层流动能......
    4. 《基于聚酰亚胺基底的热剪切应力传感器设计》PDF+DOC 设计了一种基于柔性MEMS技术的双热线结构剪切应力传感器，可以实现曲体表面上二维剪切应力的矢量测量，对于实现流场的主动控制具有重要的意义。介绍了双热线热剪切应力传感器及其阵列的原理和结构设计；通过有限元仿真分析对器件的尺寸参数进行了优化设计；利用MEMS工艺制作方法，实现了信号背线引接技术，减少了对......
    5. 《电子鼻的研究和开发现状》PDF+DOC 本文简要介绍电子鼻的研究和开发现状及应用。...
    6. 《红外传感器》PDF+DOC 一、前言可见光和红外光传感器与其它电子器件一样，正在稳步地向前发展。可见光Si CCD传感器是对以前的摄象管的变革。红外光面阵红外传感器也受到各发达国家的广泛研究。研制面阵红外传感器的目的在于：1)除了使线阵多元红外传感器小形化外，还将去掉扫描装置陡读出装置小形化；2)给传感器配备控制功能来提高其装......
    7. 《复合量程MEMS加速度计抗高过载的优化设计》PDF+DOC 在航空航天及武器系统中，传感器承受很大的冲击，这就要求传感器具有很高的抗高过载能力。文中在原有基础上对复合量程微加速度计中的高低量程模块进行抗高过载设计的优化。试验测得优化后的结构能够抗20000g，能够有效地满足高过载高冲击环境的要求。...
    8. 《MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器，利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏感结构建立了数学模型，通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟，得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构参数，并确定了TiN谐振梁在矩形压力膜上方的最佳位置。这对传感器的......
    9. 《一种基于MEMS传感器基准电流源设计》PDF+DOC 基于微机电系统传感器工作原理，提出了一种应用于MEMS传感器系统的低温度系数和高电源抑制比基准电流源设计方案。在研究传统Widlar型基准电流源结构基础上，运用BJT小信号模型分析，得出通过增大反馈环路增益来提高PSRR的结论。...
    10. 《基于EKF的多MEMS传感器姿态测量系统》PDF+DOC 姿态信息是飞行控制中最关键的参数之一，因此姿态测量成为飞行控制系统首要解决的问题。利用多M EM S传感器研制了一种微型姿态测量系统。利用三轴M EM S加速度计和三轴M EM S陀螺数据，由方向余弦矩阵的姿态表示形式推导了扩展K a lm an滤波方程，解算出飞行器的俯仰角和横滚角；设计专家系统判......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。