作者:荣伟彬,陈立国,孙立宁,谢晖 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2006年第05期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2006051420 DOC编号:DOCCGJS2006051429 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对当前MEMS产业化推进过程中的小批量的发展现状,研究面向批量组装的MEMS微操作实用化系统具有重要实际价值.针对MEMS高温压力传感器产业化发展过程中的批量化键合工艺需求,从分析压力传感器键合工艺入手,研究批量组装关键技术,最后进行系统集成研制MEMS压力传感器批量组装设备.批量组装实验表明该系统可实现典型MEMS传感器批量组装,对MEMS产业化发展具有重要意义。

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