作者：唐力强,李民强,陈建群,张宾,王英先 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2006年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2006060120 DOC编号：DOCCGQJ2006060129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器，重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。试验结果表明：研制的感压元件性能良好，非线性误差低于1.0%，迟滞误差小于0.5%，测试电容和参考电容温度系数近乎一致。

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