作者:何冬琦,张旭东,张勇 单位:中国测试技术研究院 出版:《中国测试》2015年第09期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFSYCS2015090160 DOC编号:DOCSYCS2015090169 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 该文利用激光干涉测长原理研发二等量块自动测量系统,该装置采用633 nm碘饱和吸收稳频He-Ne激光器作为标准。硬件方面设计、开发机械本体,搭建激光光路和信号处理模块,研发精密定位的柔性传感器,选配相关电机驱动和环境参数监控系统;软件方面研发数据采集和监控处理程序、测量结果判定及环境参数补偿软件。本装置测量范围上限达100 mm,测量量块的扩展不确定度为U=0.04~0.08μm(k=3),其复现量值指标达到JJG 146——2011《量块》的技术要求。

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