作者：朱艳芹 单位：北京方略信息科技有限公司 出版：《国外电子测量技术》2015年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGWCL2015070160 DOC编号：DOCGWCL2015070169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 国内半导体制造行业经过几十年的产品生产及技术升级，其产品已向微型化发展。与此同时，外观检测还保持着人工方式，这也受到了下游客户的越来越多的质疑及挑战。基于此，自动光学检测系统的引入就被提到了紧要的地位。该系统采用嵌入式微控器加彩色线阵CCD捕获产品原始图像，然后通过滤波、边缘检测等实现被测产品的在线检测、分析判断并通过巧妙的机构来实现不良品的自动剔除。经过实际生产检验，该系统图像捕获、处理及分析均准确可靠，并实现了10pcs/s的产品图检测及剔除。

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