作者:李夏喜,郭霄鹏,白永强,刘晓彬,邢琳琳,汪彤 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2015年第05期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2015050380 DOC编号:DOCYDSG2015050389 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 给出了一种声表面波(SAW)应变传感器石英基片各切向灵敏度的分析方法,以微扰理论为基础构建有限元模型计算应变量,并以此计算出SAW频率相对偏移量,分析计算不同切向下石英基片的应变灵敏度,并选取了应变灵敏度较高且温度灵敏度较低的ST-X切石英进行实验。实验测得应变灵敏度为0.382kHz/με,与理论计算结果(0.590kHz/με)基本一致,验证了理论分析方法的正确性。

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