《低迟滞MEMS电容式气压传感器设计》PDF+DOC
作者:周晓,刘清惓
单位:东南大学
出版:《电子器件》2014年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ2014020060
DOC编号:DOCDZQJ2014020069
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针对传感器的机械迟滞问题,提出一种减小迟滞偏移的方法,设计了低迟滞误差的电容式气压传感器。使用ANSYS和FLUENT软件模拟电容式传感器的工作性能,分析传感器的温漂特性、电容灵敏度及加热功率与通孔大小的匹配问题。分析结果表明传感器的电容温漂为0.029 fF/K,电容灵敏度为30 fF/hPa;加热空腔气体可以驱动空腔内气压增加20 hPa,超过传感器的迟滞误差范围,为低迟滞误差传感器的设计和结构优化提供了依据。
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