作者:罗涛,谭秋林,熊继军,纪夏夏,王晓龙,薛晨阳,张文栋 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2014年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2014020080 DOC编号:DOCCGJS2014020089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS无源无线压力传感器研究》PDF+DOC2013年第11期 刘谨,欧文,高璇 《基于LTCC的无线无源压力传感器的研究》PDF+DOC2013年第04期 康昊,谭秋林,秦丽,李晨,丁利琼,张献生 《基于LTCC技术的无源气压传感器研制》PDF+DOC2017年第05期 刘红雨,李姗泽,王颖麟,李俊 《高温压力传感器标定系统的研究》PDF+DOC2015年第12期 于艺,陈英涛 《基于石墨烯的无线无源湿度传感器》PDF+DOC2020年第06期 廖振兴 《基于HTCC的新型薄膜高温压力传感器》PDF+DOC2018年第05期 王海星,吉耀辉,逯斐,谭秋林,熊继军 《压力传感器灵敏度温漂的新补偿方法》PDF+DOC1981年第06期 屠海鹰 《一种压力传感器的零点补偿电路》PDF+DOC2012年第10期 王方德 《基于ATmega16的压力传感器温度补偿智能化设计》PDF+DOC2010年第10期 胡园园,李淮江,王大军 《基于氧化铝陶瓷的无线无源压力传感器》PDF+DOC2014年第09期 郑庭丽,梁庭,洪应平,任重,李赛男,熊继军
  • 研究了利用杜邦951 LTCC材料制备的无线无源压力传感器的温漂特性。通过搭建高温测试系统,对传感器0~600℃内的高温特性进行了测试,结果表明传感器存在较大温度漂移。通过制作无腔传感器和LTCC基片上螺旋电感进行高温特性测试,通过对比分析,确定了造成传感器温漂的主要原因是LTCC材料相对介电常数的变化。结合测试数据和公式推导,得出了600℃时杜邦951 LTCC材料的相对介电常数由常温7.8增大到9.04。

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