作者:张慧君,张立喆,段玉培,陈喜 单位:中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版:《计测技术》2014年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHKJC2014030070 DOC编号:DOCHKJC2014030079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《光纤F-P腔压力传感器的研究进展》PDF+DOC2012年第02期 韩冰,高超 《一种基于光纤F-P腔的石墨烯谐振式压力传感器》PDF+DOC2019年第06期 李子昂,樊尚春,李成 《光纤压力传感器制作研究》PDF+DOC2012年第S1期 张立喆,张力,段玉培,黄彩霞 《基于光纤压力传感器的管道监控系统研究(英文)》PDF+DOC2015年第11期 吕佳博,徐熙平,才存良,张少军 《光纤环式新型敏感元件的微弯光损耗分析及应用》PDF+DOC2000年第02期 刘月明,刘君华,张少君 《反射式强度调制型光纤压力传感器的研究》PDF+DOC2005年第01期 李艳萍,张丽红,伦翠芬,侯桂凤,刘士光 《相位调制型光纤压力传感器与智能检测系统》PDF+DOC2001年第09期 梁长垠 《基于光纤微弯损耗的压力传感器实验研究》PDF+DOC2008年第01期 刘艳,刘计朋,朱震,刘勇,王安 《光纤F-P腔压力传感器在高温油井下的应用研究》PDF+DOC2007年第03期 于清旭,王晓娜,宋世德,赵业卫,崔士斌 《F-P腔式光纤压力传感器温度补偿设计研究》PDF+DOC2013年第S2期 王增健
  • 膜片式F-P腔光纤压力传感器是基于法布里-珀罗干涉原理,采用微电子机械系统(MEMS)技术加工而成。在实际应用中,不同的测试环境对传感器灵敏度的要求各不相同,如果针对不同灵敏度,分别采用MEMS工艺批量化生产,则会造成生产成本过高,经济化效益降低。本文利用湿法腐蚀的方法对传感器进行膜片减薄试验,在一定范围内提高了传感器的压力灵敏度,从而满足了不同的测试需求。膜片减薄后,传感器的灵敏度可达34.2 nm/kPa,压力标定曲线的线性度为0.9997,传感器的非线性误差为0.05%,能够实现0~120 kPa(绝压)范围内压力的准确测量。

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