作者:李国忠,葛培虎,潘少卿,颜士飞 单位:信息产业部南京电子器件研究所 出版:《光电子技术》2014年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGDJS2014010090 DOC编号:DOCGDJS2014010099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 为了提高液环式角加速度传感器的环境适应性,本文对器件的结构和制作工艺进行了研究,获得影响器件环境适应性的三大因素,分别是玻璃毛细管的直径、敏感组件内的压强、以及软胶的涂覆方法。通过选取合适的毛细管的直径、敏感组件内的压强,以及正确的软胶涂覆方法,制作的器件在28.5g、5000Hz、低温-45℃随机振动中,输出信号正常率达到90%以上。

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