作者：项志杰,马炳和,邓进军,韩蕾,秦文君 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2014年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2014040060 DOC编号：DOCBDTQ2014040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 流体壁面剪应力微传感器的精确标定是进行流动测量的基础。分别采用自重加载、离心加载和风洞吹风三种不同方法，对基于电容检测原理的浮动单元剪应力微传感器进行标定与实验研究。对比了三种实验方法和标定的结果，分析了标定过程中的设备、传感器的加工及安装等误差的影响。研究结果表明，标定的传感器灵敏度为30 mV/Pa，三种标定方法的误差在2%以内，采用离心加载标定的误差最小；为进一步减小标定误差提供了改进方法。利用标定后的传感器，在风洞中对标准翼型的定点壁面剪应力值进行了测量，与仿真结果进行对比，二者能够较好吻合。

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