作者：李玉平,何常德,张娟婷,张慧,宋金龙,薛晨阳 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014110210 DOC编号：DOCCGQJ2014110219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 目前电容式MEMS超声传感器(CMUS)多为收发一体结构，但二种工作模式对传感器结构要求存在很大差异，设计时为了兼顾收发性能往往不能使传感器性能达到最优；此外，传统的电容式MEMS超声传感器还存在寄生电容大的缺点。针对以上问题，基于收发分离的思想，设计了一种专用作超声接收的MEMS电容式传感器，结构上采用上下电极引线互错，单元间电极联线交错的方式来减小寄生电容。通过理论分析和ANSYS仿真得到所设计传感器的最佳工作电压为586V，灵敏度为174.2fF/Pa，满足现有超声接收传感器的应用要求。

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