作者：周晓宇,张萌颖,杜利东,赵湛 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2017年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2017040280 DOC编号：DOCCGQJ2017040289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了消除环境温度对硅压阻式传感器输出的影响，大幅提升硅压阻式传感器的测量精度，将传感器芯片与热源和测温原件封装在一起，通过控制加热的方式使传感器工作在恒定50℃的环境中，对传感器进行线性标定和测试。结果显示：在-45~45℃环境下，600~1 100 h Pa量程内气压传感器的测量误差小于0.3 h Pa。

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