作者：黄静莉 单位：机械科学研究院;中国机械工业标准化技术协会 出版：《机械工业标准化与质量》2014年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGBZ2014070170 DOC编号：DOCJGBZ2014070179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《运七飞机座舱的压电主动振动控制实验研究》PDF+DOC2002年第02期 姚军,李岳锋,姚起杭 《大柔性压电梁振动主动控制实验研究与数值模拟》PDF+DOC2012年第05期 吴大方,黄良,潘兵,王岳武,牟朦,吴爽 《压电智能结构振动控制技术的研究与展望》PDF+DOC2011年第03期 邢峰,张让辉,王敦富,支晓华 《基于灰色理论的压电悬臂梁的振动主动控制研究》PDF+DOC2008年第10期 邓国红,余雄鹰,欧健,张光辉 《车身振动主动控制压电层合板结构的优化》PDF+DOC2014年第02期 邓丽丽 《船用柴油发电机组主动减振试验研究》PDF+DOC2013年第02期 杨铁军,李新辉,朱明刚,杜敬涛,刘学广,刘志刚 《测定振动和冲击用的压电型加速度传感器》PDF+DOC1984年第01期 寺园信一,吴再丰 《压电类船舶智能结构动态特性分析》PDF+DOC2005年第06期 姚熊亮,杨志国,顾玉钢 《压电材料在汽车技术中的应用》PDF+DOC2007年第05期 刘仁鑫,王万章 《柔性机械臂振动压电抑振新方法》PDF+DOC2007年第09期 周刚,余跃庆,方道星,丁立

    • 随着大规模集成电路的发展，光刻机物镜曝光的特征线宽指标越来越高，对物镜位置及位置稳定性的要求也与日俱增。为此，本文提出了一种采用压电陶瓷作为作动器与传感器的方法，实现了对光刻机物镜的微振动主动控制。可使物镜位置稳定性提高35%左右，从而提高物镜成像质量。

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