作者:刘红雨,李姗泽,王颖麟,李俊 单位:中国电子科技集团公司第五十八研究所 出版:《电子与封装》2017年第05期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDYFZ2017050020 DOC编号:DOCDYFZ2017050029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《无线无源声表面波气压传感器》PDF+DOC2005年第06期 江城,杨军锋,王学德 《LTCC高温压力传感器温漂特性研究》PDF+DOC2014年第02期 罗涛,谭秋林,熊继军,纪夏夏,王晓龙,薛晨阳,张文栋 《制动系统气压传感器测试平台研究》PDF+DOC2014年第02期 程登良,蒋伟荣,黄志文,张凯,王卫华 《无线、无源压力传感器测试及标定方法》PDF+DOC2013年第09期 李晨,谭秋林,洪应平,葛冰儿,王伟,熊继军 《基于MS5534B气压传感器的高度测量》PDF+DOC2016年第24期 李槐生 《电源及负载电阻对PTB220型气压传感器检定结果的影响》PDF+DOC2015年第02期 李建英,贺晓雷,崇伟,丁红英 《气压传感器示值误差的测量不确定度评定》PDF+DOC2020年第05期 丁红英,于贺军,李建英 《浮标用数字式气压传感器研究》PDF+DOC 付少雁,王雅利 《基于VFC的大气气压信号测量和硬件设计》PDF+DOC2012年第01期 左现刚,马玉琨,冯燕 《基于BMP085的一种便携式海拔高度测量系统设计》PDF+DOC2011年第12期 王俊彩,王福平,侯瑞峰,王成
  • 介绍基于LTCC技术的无源气压传感器的基本原理和理论模型,主要制作工艺流程和关键工艺难点。研究了LTCC内埋型空腔的实现方法、牺牲层材料的选取和依据,并对无源气压传感器的理论模型进行仿真分析与实际测试。结果表明利用LTCC内置空腔技术研制的气压传感器测试结果与仿真分析吻合较好,谐振频率随外界压力的增大而减小,谐振频率随压力的变化近似于线性变化,在复杂环境内依然能够实现预期功能。

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