作者:吴青青,张效栋,房丰洲,张林 单位:中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版:《光学技术》2014年第02期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJS2014020030 DOC编号:DOCGXJS2014020039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对立方相位板的曲面特征,基于波前传感方法设计了面形测量系统。提出了波前数据到曲面面形的映射模型,借助图像处理方法有效地提高了测量的动态范围,实现了较大曲率的立方相位板面形精度的超精密测量。仿真分析表明,该模型的转换精度同传统算法相比提高了2~3倍,测量的动态范围提高了4倍,且仍有提高空间。最后搭建的实验系统实现了实际立方相位板面形的测量,通过与Wyko白光干涉仪的测量数据对比,验证了测量的准确性。

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