作者：江少波,苏卫国,万松,邓康发,张威 单位：北京大学 出版：《北京大学学报(自然科学版)》2014年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJDZ2014040060 DOC编号：DOCBJDZ2014040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用MEMS集成加热器设计一个温控系统。所用的加热器效率达到7.35 mm2K/mW，且功耗低。加热器面积为6 mm&#215；6 mm，具有较高的系统集成度。该温控系统采用Fuzzy-PID温度控制算法，温度稳态误差小于0.1&#176；C，并且约10秒即达到稳态，响应速度快。使用该系统对MEMS压力计进行环境温控，可明显抑制器件的温度漂移。

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