作者:朱正恺,刘芳芳,朱肃然,费业泰 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2013年第11期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2013110350 DOC编号:DOCYBJS2013110359 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 微纳米超精密测量是目前热点研究领域,光纤布拉格光栅作为良好的传感元件,用于微纳米测量领域具有广阔前景。首先对光纤布拉格光栅传感的基本原理进行了分析,在此基础上,采用布拉格光纤光栅熔制悬挂式探针测头作为传感元件,利用匹配法进行波长解调,然后设计一整套系统,以实现微位移量测量。利用激光干涉仪和PI微动平台对系统性能进行标定,并利用广义多项式对测量数据进行拟合。实验结果显示:系统分辨率达到10 nm,曲线拟合优度为0.999 6。

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