作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2013年第11期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2013110330 DOC编号：DOCCGSJ2013110339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本发明是一种光纤本征谐振子传感器，直接在光纤端面上加工微悬梁谐振子，属于光纤传感器技术领域，特征为：本发明包括激光光源、探测器、光纤定向耦合器、匹配液和传感探头。本发明实现了光纤本征结构一体化，全光测量，单一光源同时实现谐振子的激励和谐振信号的检出以及在线分布式多点监测。本发明在光纤端面和微梁构成法布里-珀罗光学谐振腔，该F-P腔的反射光信号被谐振腔调制，然后沿光纤光路返回，再由光纤耦合器输出端的光电探测器PD进行接受。本发明同时考虑到微悬梁的品质因数，来实现对狭小空间的真空度的测量。

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