作者:张龙赐,颜志红,曹勇全 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2017年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2017010070 DOC编号:DOCYBJS2017010079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种新型宽氧阈低功耗氢气传感器系统的研制》PDF+DOC2017年第04期 杨芳,刘琦,王新锋,官德斌 《钯铬合金薄膜型氢气传感器的设计与制作》PDF+DOC2015年第09期 张建国,景涛,曾固,钱力,宋祖殷 《薄膜型钯-铬合金氢气传感器技术研究》PDF+DOC2012年第11期 肖友文,景涛,谢贵久,张建国,王玉明,章良 《一种自平衡温度的微型多波段红外探测器》PDF+DOC1999年第03期 高毓秋 《高性能Si基MOS肖特基二极管式氢气传感器研究》PDF+DOC2004年第02期 钟德刚,徐静平 《高灵敏度氢气传感器的开发应用——用AVR单片机开发氢气浓度检测仪》PDF+DOC2002年第09期 郑剑翔,吴青海 《级联长周期光纤光栅氢气传感器》PDF+DOC2013年第07期 黎启胜,张毅,庄志,张敏,杨振 《室温全固态电位型氢传感器研究》PDF+DOC2008年第12期 郭贵宝,周从雨,安胜利 《基于虚拟仪器的光纤氢气传感器的设计》PDF+DOC2007年第12期 崔陆军,陈幼平,张冈 《WO_3气敏薄膜的制备方法》PDF+DOC2013年第04期 涂越,李强,蒋丹宇
  • 基于氢敏材料检测氢气浓度的工作原理,针对合金薄膜型氢气传感器加热电阻小、达到最佳工作温度时间长等特点,设计了一种低功耗合金薄膜氢气传感器。利用有限元分析软件ANSYS Workbench对该结构进行了热分析,结果表明,该种结构在加热功耗为0.2 W,总功耗为0.8 W时,能够短时间内将该氢气传感器加热到最佳工作温度。根据MEMS技术制备了合金薄膜型氢气传感器,实验结果与理论分析具有很好的一致性。该研究为薄膜型氢气传感器的低功耗设计与微小型封装提供了重要依据。

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