作者：吴俊杰,李源,李东升,卢歆,何明轩 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2013年第12期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2013120150 DOC编号：DOCGXJM2013120159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件，本文基于非硅MEMS工艺，开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式，设计了运动范围为25mm&#215；25mm&#215；10mm，单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后，对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明，测头的轴向测量范围为4.5μm，横向测量范围大于5μm，轴向分辨力优于10nm，横向分辨力优于25nm，线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低，可集成到纳米测量定位平台(NMM)，完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。

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