作者：王斯,苏元捷,谢光忠,太惠玲,蒋亚东 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2017年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2017050140 DOC编号：DOCDZAL2017050149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过气喷工艺在石英晶体微天平(QCM)上制备了基于还原氧化石墨烯(RGO)与聚氧化乙烯(PEO)两种材料的复合湿敏薄膜，对环境湿度进行检测。所得纯PEO薄膜及RGO-PEO复合薄膜的表面形貌以及化学特性分别通过扫描电子显微镜(SEM)以及紫外-可见光谱进行表征。与基于纯PEO薄膜的湿度传感器相比，基于RGO-PEO复合湿敏薄膜的湿度传感器的动态响应大大提高，其灵敏度从16.3Hz/%RH提升到34.7Hz/%RH。此外，基于复合薄膜的湿度传感器拥有更快的响应/恢复时间，达到传感器吸附/脱附时总频移的63.2%所用时间分别为3s和4 s，而纯PEO薄膜为10 s和12 s；湿滞为1.21%RH，且有较好的长期稳定性。这项研究揭示了基于RGO-PEO复合薄膜的QCM湿度传感器在常温下检测环境湿度的发展潜力。

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