作者：任建军,石云波,唐军,冯恒振,杜文略 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2017年第07期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2017070060 DOC编号：DOCBDTQ2017070069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对精确制导的应用需求，设计了一种量程为100g“三明治”电容式加速度传感器，通过ANSYS仿真软件在100g及10 000g高过载条件下进行应力分析和模态分析，并通过Matlab分析、优化结构参数从而确定传感器敏感结构的具体尺寸。利用阻抗分析仪分析得到了传感器的静态电容为14.09 pF，结构输出灵敏度为0.281 8 pF/g，传感器的输出灵敏度为13.5μV/g。根据结构特性设计工艺流程并进行关键工艺加工：硅基质量块双面湿法腐蚀、ICP干法刻蚀及玻璃通孔电镀工艺。最终，通过实验验证电容式加速度传感器设计的可行性。

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