作者：赵永翠,何秀丽,赵玲,李建平,高晓光,贾建 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2013年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2013030020 DOC编号：DOCYBJS2013030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对气体红外吸收的气动探测应用，设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器。在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形Pt薄膜作为加热及测温电阻，其电阻-温度系数(TCR)约2.2&#215；10-3/℃.Pt薄膜采用4μm厚氮化硅悬梁作支撑，在125℃工作温度下功耗约44 mW.研究了Pt薄膜电阻对的间距以及工作温度对微流量传感器性能的影响，并将其用于CO2气体检测。在0～1 mL/min的测试范围内，该微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系，理论检测下限约8.5μL/min，可用于气体红外吸收的气动探测。

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