作者:康昊,谭秋林,秦丽,李晨,丁利琼,张献生 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2013年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2013040110 DOC编号:DOCCGJS2013040119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 设计了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线无源压力传感器,利用传感器谐振频率对不同应变的响应来表征传感器的应变特性,采用互感耦合的方式对传感器的谐振频率进行读取。搭建了压力测试平台,通过对天线特征参数的测试获取传感器的谐振频率,测试结果表明,基于LTCC的无线无源压力传感器的谐振频率随外界压力的增大而减小,谐振频率随压力的变化近似于线性变化,灵敏度约为543.12 kHz/bar。

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