作者：金磊,刘小磐,宋东东 单位：中国电子科技集团公司第四十七研究所 出版：《微处理机》2013年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWCLJ2013050030 DOC编号：DOCWCLJ2013050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用离子束溅射及光刻工艺，在衬底硅片上制备了结构为Ta/NiFeCoCu/NiFeCo/FeMn/Ta的自旋阀型多层膜磁阻单元，然后采用四个磁阻单元构成惠斯通电桥，形成磁敏感元件，进而研制GMR传感器。介绍了自旋阀GMR传感器的结构和工作原理，研究了该传感器的特性，实验结果表明：该自旋阀线性度好、灵敏度高，可作为航天器进行宇宙空间微弱磁场测量的重要仪器。

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