作者:孙永明,刘武,张卫平,陈宏海 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2013年第08期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2013080250 DOC编号:DOCCGQJ2013080259 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微型柔性剪切应力传感器的制作研究》PDF+DOC2005年第08期 陈四海,汪殿民,朱福龙,徐涌,易新建 《柔性微热剪切应力传感器阵列》PDF+DOC2012年第06期 王文君,刘武,张卫平,陈文元,杨春生,崔峰,吴校生 《基于导电橡胶的一种新型类皮肤触觉传感器阵列》PDF+DOC2010年第03期 丁俊香,葛运建,徐菲,郝传光,黄英 《微型柔性红外传感器的制作研究》PDF+DOC2006年第S1期 王明,陈四海,潘峰,汪殿明,黄光 《低迟滞MEMS电容式气压传感器设计》PDF+DOC2014年第02期 周晓,刘清惓 《一种柔性PVDF压电薄膜传感器的制备方案》PDF+DOC2016年第01期 刘旭,武澎,吕延军 《基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究》PDF+DOC2005年第06期 肖素艳,车录锋,李昕欣,王跃林 《一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器》PDF+DOC2004年第01期 杨宏亮,鲍剑斌,王志勇,贺德建 《MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究》PDF+DOC2011年第09期 张广庆,赵成龙,秦明 《新型MEMS三维振动传感器的有限元分析》PDF+DOC2013年第04期 李振,吴淑娟,张国军,薛晨阳
  • 设计了一种基于柔性MEMS技术的双热线结构剪切应力传感器,可以实现曲体表面上二维剪切应力的矢量测量,对于实现流场的主动控制具有重要的意义。介绍了双热线热剪切应力传感器及其阵列的原理和结构设计;通过有限元仿真分析对器件的尺寸参数进行了优化设计;利用MEMS工艺制作方法,实现了信号背线引接技术,减少了对流场的干扰。实验结果表明:工艺流程设计和器件参数设计合理,传感器阵列具有良好测试性能。

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