作者：韦宣,乐静,申阿维,邵伟 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2013年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2013010320 DOC编号：DOCCGQJ2013010329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对微动工作台定位中遇到的位移检测问题，探讨了一种反射式光纤位移传感器。通过分析光纤耦合原理设计了发射接收光纤探头的结构；选择高亮度LED和高灵敏度硅光电池，提高了传感器的抗干扰能力和增强了信号强度；检测电路实现了对信号的去零、放大，从而提高分辨率，解决了这类传感器的线性范围小所引起的不足。实验结果表明：在0～200μm的量程内分辨率能达到亚微米级。

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