作者:徐弈辰,杨道业,张智,程明霄,施源 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2013年第11期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2013110130 DOC编号:DOCCGQJ2013110139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 利用传感器相邻极板之间灵敏场不均匀的特点,建立了一种新型双阵列式电容传感器,并引入新的目标函数来评价灵敏场在某个区域幅值的大小。通过有限元仿真,分析双阵列式电容传感器电极数为6,8,12,16时对目标函数的影响,选取双阵列式电容传感器的电极数,使传感器综合性能最优。

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