作者：马宁强,张琦 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2013年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2013090190 DOC编号：DOCYBJS2013090199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在双极性功率半导体器件如晶闸管的制造工艺中，需要对经过激光割圆工艺切割后的芯片进行喷砂整形，以符合后续工艺对外观形状的精密要求，目前工艺中使用的喷砂设备的喷嘴进给系统均采用手动丝杆调节，难以保证加工的一致性和精度要求。现采用直线位移传感器作为进给位置反馈元件，伺服系统作为执行机构，应用自动控制理论，设计包含速度控制内环和位移控制外环的双闭环机械手系统，该系统能采样并模拟人工连续进给柔性操作过程，实现工艺过程的智能化，提高了产品的加工制造水平。

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