《散斑相关法标定电涡流传感器电压输出曲线》PDF+DOC
作者：朱猛,龙宁波,张昊,黄战华
单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会
出版：《光电工程》2013年第10期
页数：5页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFGDGC2013100050
DOC编号：DOCGDGC2013100059
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为了精确的测量电涡流传感器的距离-电压输出线性区间和线性位移精度，本文采用了显微散斑相关法对位移进行标定。首先，利用精度为5μm位移平台进行位移调节，得到位移和电涡流传感器输出电压的线性区间。然后，在线性区间内进行密集采样，通过显微照相系统采集散斑图，利用散斑相关法求出位移，得到更高精度的位移-电压曲线。分析了显微散斑照相的检测流程与检测精度；讨论了散斑尺寸对测量的影响。设计了测量光路参数：采用40×；显微物镜配合20×；读数显微镜可以实现64.5×；的放大倍率。对40铬材料进行了位移-电压曲线标定实验，实验结果证明：本系统可以实现高精度的电涡流传感器位移标定，测量精度达到0.09μm，要实现更高精度的标定可以提高显微系统的放大倍率。
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