作者:孙月,曹悦,郑尧,刘豫,衣云骥,张大明 单位:教育部科技发展中心 出版:《中国科技论文》2017年第14期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZKZX2017140090 DOC编号:DOCZKZX2017140099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 设计了基于聚合物材料与无机材料三维混合集成的马赫增德尔(M-Z)光波导传感器,从结构和材料方面提升器件性能。分析器件结构两臂的光波导模式特性,采用有效折射率法得出传感精度曲线,优化波导尺寸为2μm×2μm(长×宽),使其传感精度相比平面结构提升2~3倍,光束传播法模拟光场分布,模拟传感长度差为100~3 000μm时的器件输出曲线。利用多材料混合集成,通过温度控制器件的传感区间,可解决精度退化问题。

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