作者:杨颖,李醒飞,寇科,王错 单位:天津理工大学 出版:《光电子·激光》2013年第06期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGDZJ2013060100 DOC编号:DOCGDZJ2013060109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为减小激光自混合干涉位移传感器测量误差,提出了基于小波分析的自混合干涉信号处理方法。在进行全相位快速傅里叶变换(FFT)解调相位之前,利用离散小波分解、重构去除自混合干涉归一化信号的奇异点,有效降低调制电流斜率突变引入的高次谐波干扰,同时去除高频随机噪声干扰。简述了自混合干涉位移测量原理,介绍了基于小波分析的自混合干涉信号处理算法原理并进行了算法仿真,采用数值仿真分析了系统反馈水平及调制参数对测量误差的影响,利用压电陶瓷(PZT)对自混合干涉位移测量系统进行标定。结果表明,位移测量误差减小到2.45nm。应用小波分析处理干涉信号可减小激光自混合干涉位移传感器的测量误差。

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