作者:王有忠 单位:北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版:《仪器仪表与分析监测》2013年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQYB2013030060 DOC编号:DOCYQYB2013030069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了MEMS技术及其发展现状,介绍了MEMS技术在计量仪器中的应用及发展前景。

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