作者：王敏,王笑一 单位：浙江省机电集团有限公司;浙江大学 出版：《机电工程》2013年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJDGC2013050090 DOC编号：DOCJDGC2013050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对目前长光栅动态特性试验缺乏必要手段的问题，采用比对测量原理，以激光干涉仪为基准，提出了一种长光栅动态特性检测和可靠性试验方案，通过实验法研究了速度与加速度对长光栅测量精度的影响；基于精密气浮导轨、激光干涉仪和数控技术，研制出了长光栅动态特性试验系统。该试验台采用卧式结构，主要由机械系统、伺服系统、数据采集处理系统和软件系统组成，具有精度检测、动态性能测试和寿命试验的功能。精度分析结果表明：该试验系统的综合不确定度为0.124μm，即满足试验台对精度为0.5μm的光栅进行检测的精度要求。

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