作者：沈小燕,林杰俊,李加福,尹建龙,李东升 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2013年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2013060410 DOC编号：DOCYBJS2013060419 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 超精密测量定位是实现现代超精密加工的重要环节。以宏微结合式的超精密二维定位平台为基础，组建了基于光谱共焦位移传感器的超精密二维测量定位系统，介绍了该系统的组成与功能实现方法。利用高等级量块对系统进行二维校准，再将该系统应用于二维尺寸的测量，分析了测量误差，并进行了测量不确定度的评定，试验获得该测量系统X、Y方向的测量不确定度分别为89 nm和87 nm.研究表明该超精密二维测量定位系统初步达到了纳米级测量效果。

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