作者：韩颖 单位：中国空空导弹研究院 出版：《航空兵器》2013年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKBQ2013050050 DOC编号：DOCHKBQ2013050059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS(Micro Electron Mechanic Systems)技术是从专用集成电路(ASIC)技术发展过来的，已经在电子产品、汽车工业、机械、化工及医药等各领域得到广泛的应用。近年来，MEMS器件在航空领域的应用越来越受到各国重视。本文首先介绍了MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS-IMU惯性导航组合系统等目前在航空领域有一定应用前景的MEMS传感器，对这些传感器在国外的应用研究进行了汇总，最后，介绍国内已有初步进展的MEMS传感器设计应用，并指出我国的航空微时代的研究方向。

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