作者:黄涛,刘正坤,蒋晓龙,付绍军 单位:中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所 出版:《真空》2013年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZKZK2013040060 DOC编号:DOCZKZK2013040069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 提出了一种新型楔形膜在真空中的制作方法,可以替代白光干涉位移传感器中的关键元件。该方法采用两层复制技术,用有机材料SU8胶作为楔形膜中间的材料。同时,搭建了白光干涉位移传感器系统,对制作的楔形膜进行了测量。实验结果表明,该解调系统具有较好的稳定性及较高的测量精度。

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