作者：张继月,李天利,严力,张晓杰 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2017年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2017050160 DOC编号：DOCJCDI2017050169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在温度测量领域，传统的膨胀式测温、电量式测温以及接触式光电测温等测温方法在某些特殊环境下其可行性和准确性受到很大程度的限制。为实现对超高温环境温度的测量，采用微波测量法以SiAlCN无线无源温度传感器为被测对象设计了一套射频收发测温系统。本文介绍了利用R&amp；S公司的ZNB40矢量网络分析仪，对SiAlCN温度传感器在不同温度条件下的S_(11)参数进行测量，获取传感器谐振频率与实时温度的对应关系，为射频收发测温系统扫频信号频率范围的设计提供参数性指导。

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