作者:塔力哈尔·夏依木拉提,吐尔迪·吾买尔,尚志勇,冯艳,谢宁,彭敏 单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版:《电子元件与材料》2017年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZAL2017030110 DOC编号:DOCDZAL2017030119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 采用电子束刻蚀、机械探针贴膜等方法,构筑了基于气体绝缘层结构的单根酞菁铜纳米线FET式NO_2气体传感器。结果发现,在室温条件下,器件的检测极限为1×10~(–6)(NO_2体积分数),其灵敏度高达2 172%,该结果相比于薄膜气体传感器检测极限降至十分之一。除此之外,该器件在室温条件下可以恢复至基线,在低浓度、室温监测方面有着较好的优势。

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