《滑块内滚道型面精度的倾斜测量》PDF+DOC
作者：徐小韵,欧屹,冯虎田,王凯,王瑞
单位：中国光学学会
出版：《光学学报》2017年第10期
页数：10页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFGXXB2017100260
DOC编号：DOCGXXB2017100269
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为了实现滑块内滚道型面精度的快速准确测量，提出一种基于激光三角位移传感器倾斜测量的方法。对该方法的算法进行推理与验证，同时借助高精度圆棒进行实验验证。根据测量系统的特征与滑块内滚道的形状，建立相对应的模型。设计相应的算法，计算滑块内滚道的半径，并对测量过程中的误差来源进行标定补偿。在内滚道轮廓算法的基础上，计算滑块内滚道的轴线相对基准面的位置与平行度。介绍该方案的验证性实验并分析结果。实验结果表明：标准圆棒的测量精度为3.75μm，标准差在2μm以内。实验结果满足5μm的测量精度要求，且该测量方式对标定件与待测件没有位姿要求，具备一定的推广性。
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