作者：程波,苑伟政,任森,王飞 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2017年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2017100050 DOC编号：DOCCGQJ2017100059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了对硅微谐振压力传感器进行快速、高精度的开环特性测试，提出了一种基于多频扫描的频率特性测试方法。通过数字电路将多个不同频率的扫频信号叠加作为驱动信号，以实现在整个测试频带范围内高效且高精度的频率特性测试。搭建了以现场可编程门阵列(FPGA)为核心的多频扫描测试系统，采用4个正弦扫频信号叠加进行测试，结果表明：多频扫描测试与稳态扫描测试精度基本一致，但测试效率提高了4倍。多频扫描测试方法在保证测试精度的前提下，显著提高了测试效率，能够更好地满足高Q值传感器及其在批量生产过程中的测试需求。

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